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產品展示

電子級無水氟化氫

質量標準:

分子式:HF          分子量:20.01

序號

項目

單位

規格值

1

氫氟酸 (HF)

wt%

≥99.999

2

氯化物(Cl)

ppb

≤100

3

硝酸鹽 (NO3)

ppb

≤100

4

磷酸鹽(PO4

ppb

≤100

5

硫酸鹽(SO4

ppb

≤100

6

硅(Si)

ppb

≤100

7

鐵(Fe)

ppb

≤50

8

鎳(Ni)

ppb

≤50

9

鉻(Cr)

ppb

≤50

10

銅(Cu)

ppb

≤50

11

鈉(Na)

ppb

≤50

12

鈣(Ca)

ppb

≤50

性狀:
無色透明液體,在空氣中冒白煙,有強烈刺激性氣味,劇毒,并有強烈的腐蝕性,沸點19.5℃。
用途:
半導體蝕刻。
貯存:
貯存在帶棚的庫房中。嚴禁暴曬,嚴禁與易爆物品混放。
運輸:
按一級無機酸性腐蝕物品對待。
包裝:
用中壓高純鋼瓶包裝,每瓶4L、10L、40L或依客戶要求。

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